目前的超工作臺定位與運動控制系統涉及機械設計、自動控制、機械動力學等多學科。其中二級定位技術和誤差補償技術是 提常用的方法，超定位與運動系統中的進給驅動技術，位置反饋技術和定位控制技術決定了整個系統的較高定位精度，二級定位技術則是 為了解決系統大行程和之間的矛盾，為了提高系統的精度還需要對工作臺系統進行環境控制和誤差補償。

　　超定位技術是 機械與儀器中的關鍵技術，無論大行程的定位，還是 小范圍內的對準，都離不開定位技術，超定位系統包括超位移機構、檢測裝置與控制系統3部分。超位移機構使工作臺產生運動，檢測裝置進行運動信息的采集和反饋，控制器通過反饋信息與目標信息進行比較產生控制信號，控制超位移機構的運動。

　　三維超定位系統與一維定位控制系統相同，由驅動機構、執行機構、測量傳感機構和控制系統組成，三維系統的執行機構和傳感機構可以通過使用一維直線定位系統進行3個方向的疊加而成，或通過其他藕合結構來實現，也就是 說三維定位系統中會出現3套或多套執行機構和傳感機構，如何控制他們 共同工作達到   定位，實現3軸聯動是 該系統的一個主要問題。因此，在選擇系統的位移執行機構、傳感機構時可以參考現在已有的納米級二維工作臺和直線定位系統所采用的方案，而控制方法和控制器的選擇則要考慮 選擇適合控制多被控對象的復雜系統并能實現控制的方案。

　　傳統的“旋轉電機+滾珠絲杠”驅動方式，從電機主軸到工作臺之間存在許多中間環節，如聯軸器、絲杠、螺母、軸承等。這些中間環節，不僅加大系統的轉動慣量，影響系統運動特性，而且會產生摩擦、彈性變形、滯后和非 線性誤差，影響加工精度。

　　直線驅動元件能夠實現“直接驅動零傳動”   適合應用于超定位系統。直線驅動系統了動力源和工作臺之間的所有中間傳動環節。目前應用的超直線驅動元件主要有：直線電機、音圈電機、壓電陶瓷驅動器和超聲波電機。其中直線電機和音圈電機都是 通過電磁原理將電力轉化為直線運動；壓電陶瓷驅動器則是 利用原料的物理特性，實現直線推力輸出；超聲波電機利用壓電陶瓷條的高頻振動特性，利用干摩擦將微小振幅轉化為連續輸出，可以提供無行程限制的的連續直線位移輸出，前2者的運動驅動力遠大于后2種 壓電陶瓷驅動器。

　　從驅動技術的研究和應用程度來看，直線電機和壓電陶瓷的運動學分析、控制技術都比較成熟，應用于超機床或者定位平臺的研究也較深入，許多家企業都有相關的產品出售，并達到較。超聲波電機在國內尚處于起步研究階段，但在   已經出現產品，并逐漸應用于大行程系統之中。因為依靠摩擦力驅動，系統動態因素復雜，能夠實現其長時間穩定輸出控制的方案尚在研究中。

　　綜合以上的3個方面來看，采用直線電機和壓電陶瓷的直線驅動方案，技術相對成熟，可以盡量簡化過程。目前許多大行程超的定位系統都是 采用這2種 驅動方式協同合作而實現的。但隨著研究的深入，技術的革新，音圈電機和超聲波電機擁有   的應用前景。

　　鑄鐵平板日常養護

　　1、為了防止鑄鐵平臺發生的變形，在吊裝鑄鐵平板時，要用四根同樣長度的鋼絲繩同時掛住鑄鐵平板上得四個起重孔，將鑄鐵平板平穩吊裝在運輸工具上。

　　2、將鑄鐵平板支承點墊好、墊平，每個支撐點受力均勻，整個鑄鐵平板平穩。

　　3、鑄鐵平板安裝時將鑄鐵平板的各個支撐點用調整墊鐵墊好、墊實，由   技術人員將鑄鐵平板調整至合格精度。

　　4、鑄鐵平板使用時要輕拿輕放工件，不要在鑄鐵平板上挪動比較粗糙的工件，以免對鑄鐵平板工作面造成磕碰、劃傷等損壞。

　　5、為了防止鑄鐵平板整體變形，使用完畢后，要將工件從鑄鐵平板上拿下來，避免工件長時間對鑄鐵平板重壓造成鑄鐵平板的變形。

　　6、鑄鐵平板不用時要及時將工作面洗凈，然后涂上一層防銹油，并用防銹紙蓋上，用鑄鐵平板的外包裝將鑄鐵平板蓋好，以防止平時不注意造成對鑄鐵平板工作面的損傷。

　　7、鑄鐵平板應安裝在通風、干燥的環境中，并遠離熱源、有腐蝕的氣體、有腐蝕的液體。

　　8、鑄鐵平板按標準實行定期周檢，檢定周期根據具體情況可為6-12個月。包裝：鐵板包裝和木制包裝兩種 形式，平臺表表用塑料膜封裝，這種 包裝適于平板內陸運輸，并有良好的、防震、防銹和防野蠻裝卸等保護平板的措施，以運抵現場。