現代制造技術是 一個   發展經濟的重要手段之一，而作為現代制造技術的一個重要分支，機械制造技術的與研究也受到經濟發達   的高度重視。和超加工技術的發展和推廣，提高了整個機械制造業的加工精度和技術水平，并普遍提高了機械產品的質量、性能和競爭力。超加工已達到了納米級，甚至是 亞納米級源子級)。制造技術在超零件加工、超異形零件加工、超光學零件加工、微機電系統器件加工等有廣泛應用。

　　一、的研究進展

　　   在加工開展較早，一些   有名的大工業集團已經出商用的大行程運動平臺，例如德國PI公司、美國Newport公司、Motorola公司、羅克威爾等。這些商業化的運動平臺定位精度沒有達到較高的指標，但是 已經能夠比較穩定的應用于生產生活中。

　　   的一些高校機構也在此有明顯進展，Standford，UniversityOfWisconsinMadison，漢城   大學及我國國立臺灣大學都有明顯的成果。

　　1999年漢城   大學的Pahk為半導體制造設備研制了XVθ三維運動定位平臺，在200mm內可以達到10nm的定位精度，該系統采用2級伺服方案，宏動運動平臺采用直線電機驅動，微動臺采用壓電陶瓷驅動，雙頻激光干涉儀作為位置反饋裝置。

　　國內有許多單位在從事研究和生產超加工設備和儀器，如：北京機床研究所、清華大學、長沙科技大學、哈爾濱工業大學、西安交通大學、長春光學機械與物理研究所等單位。但到目前為止，對納米級微進給平臺的研究工作大多局限于單坐標驅動器驅動的方式。個別學者針對多坐標驅動器微進給平臺進行了的探索，但還存在一些技術問題，因此無法滿足廣泛的實際工程需要。

　　如今   的微細電火花加工已步入工業應用階段，微細電火花加工機床也應運而生，日本松下精機、瑞士夏米爾、阿奇、美國麥威廉斯等公司都有較成熟的產品，其中日本松下精機的產品能加工5μm的微細孔，具有的代表性。

　　二、趨勢和展望

　　和超加工技術的發展和推廣，提高了整個機械制造業的加工精度和技術水平，并普遍提高了機械產品的質量、性能和競爭力，進入到納米級和亞納米級加工精度是 必然的選擇。根據我國當前的實際情況，參考   的發展趨勢，我國應該大力開展加工技術的研究，其主要內容包括以下方面。

　　1)超加工機床技術，建立探索建立具有系統聯動性強，響應，可用于多種 微加工方法的、低速、多自由度的、具有納米精度的三維極微細加工系統。為運動精度，采用運動裝置的全閉環反饋。對誤差進行進一步的修正，并根據運動特點提出相應誤差識 別的方案，提高運動定位精度。

　　2)超加工刀具及加工工藝、加工材料技術。

　　3)測量與控制及誤差補償技術；加工環境控制(包括恒溫、隔熱、潔凈控制等)。

　　4)設備的精度(動特性和熱穩定性)。

　　5)綜合利用傳統的加工手段，加以復合，即采用復合加工。

　　綜合應用各種 ，在各方面精益求精的條件下，才有可能突破常規技術達不到的精度界限，達到新的指標。

　　鑄鐵平臺適用于各種 機械制造及檢驗室檢驗工作，測量用的基準平面；用于機床機械檢驗測量基準；檢查零件的尺寸精度或形為偏差，并作緊密劃線，在機械制造中也是 的基本工具。其中鑄鐵平板對精度要求較高，鉚焊平臺對精度要求低，實驗鑄鐵平板一般是 拼接使用，如果震動大的情況下還要和地面澆注在一起；研磨鑄鐵平板選用球鐵材質，其精度和光潔度是 鑄鐵平板中要求高的。一般鑄鐵平板的使用壽命很長，只要采用正確的方法使用和保放，鑄鐵平板工作面的精度可以保持使用2年以上，鑄鐵平板精度降低時可以通過調試或刮研工藝恢復，鑄鐵平板本身的使用壽命可以達到50-100年，所以，在使用鑄鐵平板的過程中要注意不要在潮濕，有腐蝕、過高和過低的溫度環境下使用和存放，這樣才可以延長鑄鐵平板的使用壽命，工作質量。

　　鑄鐵平板是 用于工件檢測或劃線的平面基準器具。平臺安裝應調至水平、負荷均勻分布于各支點上，環境溫度（20±5℃），使用時應避免震動。如果調整溫度的過程中鑄鐵平板出現了熱脹冷縮的現象也不用擔心，這是 正常現象，只要等一段時間，鑄鐵平板就能恢復，這種 現象也可以當做鑄鐵平板對溫度的適應階段。

　　適用于各種 檢驗工作，測量用的基準平面，用于機床機械測量基準，檢查零件的尺寸精度或形位偏差，并作劃線。在機械制造中也是 的基本工具。工作面應采用刮削工藝，對于“3”級平臺工作面也可以采用刨削工藝，刨削工作表面的表面粗糙度按輪廓算術平均偏差Ra值應不大于5μm。